-
ชุดผลิตภัณฑ์ E-SCAN SCAN -1 Nano Scanning Stage
ระบบสแกนซีรีส์ μSCAN เป็นระบบบูรณาการประสิทธิภาพสูงที่เพิ่งเปิดตัวโดยบริษัทของเราเครื่องจักรทั้งหมดใช้หินแกรนิตที่มีความแข็งแกร่งสูงเป็นฐาน ทำงานร่วมกับมอเตอร์เชิงเส้นประสิทธิภาพสูงและแพลตฟอร์มเซอร์โว และส่วนใหญ่จะใช้สำหรับการสแกน การประมวลผล การทดสอบ และการใช้งานอื่นๆ ที่มีความแม่นยำสูงการเลือกพารามิเตอร์จังหวะมาตรฐานรองรับการจัดส่งที่รวดเร็ว ซึ่งช่วยลดข้อบกพร่องของชุดค่าผสมที่เกิดจากความไม่คุ้นเคยของลูกค้ากับชุดค่าผสม และข้อบกพร่องด้านประสิทธิภาพที่เกิดจากความไม่คุ้นเคยกับการดีบักได้อย่างมาก
-
E-LMT-XY (ระยะความแม่นยำสูงมอเตอร์เชิงเส้น) XY ระยะการเคลื่อนที่ของมอเตอร์เชิงเส้น
● ระยะการเดินทาง 100 มม. × 100 มม. หรือ 200 มม. × 200 มม
● ทำซ้ำทิศทางเดียวได้ถึง 0.3 µm
● มอเตอร์เชิงเส้น 3 เฟสแบบไม่ใช้เหล็ก
● ความเร็วเพิ่มขึ้นทีละ 500 มม./วินาที
● ตัวเข้ารหัสเชิงเส้นที่มีความละเอียด 4.88 นาโนเมตร
● ไกด์ลูกกลิ้งแบบไขว้
● มอเตอร์เชิงเส้น
-
E-ABW400-X แท่นลอยอากาศหนึ่งมิติ
● เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการสแกนแอปพลิเคชันหรือการกำหนดตำแหน่งที่มีความแม่นยำสูง
● เข้ากันได้กับคลีนรูม
● ขนาดของแท่นเคลื่อนที่ 400 มม. × 138 มม
● ระยะการเดินทาง 200 มม. ถึง 1,000 มม
● ความละเอียดถึง 5 นาโนเมตร
-
E-ABVT-Z สเตจตลับลูกปืนลมแกนตั้ง
● ระยะการเคลื่อนไหวในแนวตั้ง 20 หรือ 38 มม. (1/2″)
● ความสามารถในการทำซ้ำตำแหน่งได้ถึง 10 นาโนเมตร
● รับน้ำหนักได้ 6 กก
● ตัวเลือกตัวเข้ารหัสเชิงเส้นที่วัดโดยตรง
● เสียงมอเตอร์ไดรฟ์
● นอกจากนี้ยังสามารถใช้รางลูกปืนลม รางลูกปืนข้ามได้
-
E-ABL250-X แพลตฟอร์มตลับลูกปืนลมความแม่นยำสูงหนึ่งมิติ
● เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการสแกนแอปพลิเคชันหรือการกำหนดตำแหน่งที่มีความแม่นยำสูง
● เข้ากันได้กับคลีนรูม
● ขนาดของแท่นเคลื่อนที่ 250 มม. × 90 มม
● ระยะการเดินทาง 100 มม. ถึง 600 มม
● รับน้ำหนักได้ถึง 200 N
● การออกแบบ Air-Bearing
● E-EC-ABL-X
● นำเสนอหน้าตัดที่เล็กกว่าระยะรองรับอากาศทั่วไปโดยไม่สูญเสียความสามารถในการบรรทุกพื้นผิวรองรับอากาศขนาดใหญ่มีความแข็งเป็นเยี่ยม ทำให้สามารถบรรทุกของหนักได้การผลิตที่เป็นกรรมสิทธิ์
● เทคนิคต่างๆ ทำให้เกิดเวทีที่มีลักษณะพิทช์ การม้วนตัว และการหันเหที่ไม่มีใครเทียบได้
-
E-EC-ABL-X เวทีการเคลื่อนไหวแบบลอยตัวในอากาศหนึ่งมิติ
● ตลับลูกปืนลมโหลดไว้ล่วงหน้าอย่างเต็มที่
● มีระยะเคลื่อนที่สูงสุด 1,000 มม
● ข้อเสนอแนะตัวเข้ารหัสเชิงเส้นที่มีความแม่นยำสูง
● เสร็จสิ้นการออกแบบแบบไม่สัมผัส
● การออกแบบที่เรียบเป็นพิเศษเพื่อความเสถียรของความเร็วที่โดดเด่น
-
E-NLS92-50-1V-Bลิเนียร์มอร์เตอร์สเตจการเคลื่อนที่เชิงเส้นความแม่นยำสูงลิเนียร์สเตจ
● คุณสมบัติ LS90-50-1V-B;
● มอเตอร์ขับเคลื่อนเชิงเส้นบางเฉียบช่วงชัก 50 มม.;
● ขนาดเล็กมาก โปรไฟล์ 122 มม. x 92 มม. x 18 มม.
● การเคลื่อนไหวที่เพิ่มขึ้นขั้นต่ำ 50 นาโนเมตร;
● ความแม่นยำของตำแหน่งซ้ำ: ≤100nm;
● ความละเอียดตะแกรง 1nm (1vpp);
● แรงขับสูงสุด 5N แรงขับสูงสุด 16N;
● นำเข้ารางนำข้าม;
● รับน้ำหนักสูงสุด: 4Kg;
● การเคลื่อนไหวต่อเนื่องที่ราบรื่น อายุการใช้งานระดับอุตสาหกรรม
-
E-ABT-XY-360X360 (สเตจมอเตอร์เชิงเส้นเซรามิก) XY สเตจมอเตอร์เชิงเส้นตลับลูกปืนลม
รุ่นเซรามิกใช้อลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นโครงสร้างลอยในอากาศและองค์ประกอบนำเมื่อเทียบกับหินแกรนิตและโลหะ อะลูมินาเซรามิกมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวที่น้อยกว่า และมีข้อดีของความตรง ความแข็ง และความต้านทานการสึกหรอ
-
E-GLMT-XY (สเตจมอเตอร์เชิงเส้นความแม่นยำสูง) XY สเตจมอเตอร์เชิงเส้น
● มอเตอร์เชิงเส้น
● มอเตอร์เชิงเส้นเป็นไดรฟ์แม่เหล็กไฟฟ้าโดยตรงโดยจะจ่ายส่วนประกอบทางกลในระบบขับเคลื่อนและส่งแรงขับเคลื่อนโดยตรงและปราศจากแรงเสียดทานไปยังแท่นเคลื่อนที่ไดรฟ์เข้าถึงความเร็วและความเร่งสูงมอเตอร์ไร้เหล็กเหมาะอย่างยิ่งสำหรับงานกำหนดตำแหน่งที่ต้องการความแม่นยำสูงสุด เนื่องจากไม่มีการโต้ตอบที่ไม่พึงประสงค์กับแม่เหล็กถาวรสิ่งนี้ช่วยให้ทำงานได้อย่างราบรื่นแม้ในความเร็วต่ำสุด และในขณะเดียวกันก็ไม่มีการสั่นสะเทือนที่ความเร็วสูงหลีกเลี่ยงความไม่เชิงเส้นในพฤติกรรมการควบคุมและตำแหน่งใด ๆ สามารถควบคุมได้อย่างง่ายดายสามารถตั้งค่าแรงขับได้อย่างอิสระ
-
E-EC-ABL-X สเตจเชิงเส้นแม่นยำแบบลอยตัวในอากาศหนึ่งมิติ
แพลตฟอร์มมอเตอร์เชิงเส้นซีรีส์ E-EC-ABL-X ใช้วิธีการของรางนำแบบตลับลูกปืนลมรวมกับมอเตอร์เชิงเส้นแกนเหล็ก ซึ่งมีความตรงและความเรียบที่ไม่มีใครเทียบได้กับรางนำเชิงกลแบบดั้งเดิม และเหมาะอย่างยิ่งสำหรับระยะห่างขั้นบันไดขนาดเล็กหรือพิเศษ สถานการณ์การใช้งานตำแหน่งที่แม่นยำเป็นตัวเลือกแอปพลิเคชันที่ยอดเยี่ยมสำหรับการดีบักออปติคอล การติดตั้ง และการประมวลผลที่มีความแม่นยำ
● ลิเนียร์ไกด์ตลับลูกปืนลมมีความเรียบและตรงดีมาก
● มอเตอร์เชิงเส้นแกนเหล็กช่วยให้มั่นใจถึงความแข็งแกร่งของระบบที่เพียงพอและประสิทธิภาพไดนามิก
● การทำงานที่เงียบและเสถียรพร้อมเสียงรบกวนต่ำมาก
● มีประสิทธิภาพความแม่นยำสูงมาก
● เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการสแกนแอปพลิเคชันหรือการกำหนดตำแหน่งที่มีความแม่นยำสูง
● เข้ากันได้กับคลีนรูม
● ขนาดของแท่นเคลื่อนที่ 210 มม. × 100 มม
● ระยะการเดินทาง 200 มม. ถึง 500 มม
● ความละเอียดถึง 100nm หรือ 1 nm
-
E-LMS250GT-X (ระยะกำหนดตำแหน่งเชิงเส้น) ระยะการเคลื่อนที่ของมอเตอร์เชิงเส้นหนึ่งมิติ
แพลตฟอร์มมอเตอร์เชิงเส้น E-LMS250GT-X ใช้หินแกรนิตคุณภาพสูงเป็นฐาน พร้อมรางเลื่อนลูกกลิ้งเชิงเส้นที่มีความแข็งแกร่งสูงและมอเตอร์เชิงเส้นแกนเหล็ก
เครื่องจักรที่มีความเรียบ ความตรง และน้ำหนักบรรทุกที่ดีเยี่ยม โดยทั่วไปจะใช้เป็นโมดูลพื้นฐานของอุปกรณ์กำหนดตำแหน่งแบบเคลื่อนที่ขนาดใหญ่
● ฐานหินแกรนิต ความแข็งแกร่งและความมั่นคงที่ดี ความเรียบสูง
● รางนำเชิงเส้นตรงพร้อมเทคโนโลยี C-LUBE อายุการใช้งานนานถึง 5 ปีโดยไม่ต้องใช้น้ำมันหล่อลื่น
●มอเตอร์ประสิทธิภาพสูง ไม่สัมผัส ความเร็วสูงและเสถียรภาพความเร็วสูงมาก
● ระยะชักและน้ำหนักบรรทุกที่ดีเยี่ยม
● จัดส่งที่รวดเร็วตามความต้องการในการผลิตของลูกค้า
-
E-NLS60-32-1V-B NLS เวทีการเคลื่อนไหวเชิงเส้นขนาดเล็กบางเฉียบ
● ซีรีส์ NLS ใช้มอเตอร์วอยซ์คอยล์ที่ปรับแต่งเป็นพิเศษ ซึ่งรวมตะแกรงความละเอียดสูงและ
● คู่มือลูกกลิ้งแบบแม่นยำในขนาดเล็ก
● ขนาดเล็กยังมีความแม่นยำสูงและไดนามิกสูงเช่นเดียวกับซีรีส์ UMSเหมาะอย่างยิ่งสำหรับบางสถานการณ์ของแอปพลิเคชันที่มีความอ่อนไหวต่อปริมาณมาก
● มอเตอร์ขับเคลื่อนโดยตรงแบบไม่สัมผัส ความแม่นยำสูงพิเศษและประสิทธิภาพไดนามิกที่ยอดเยี่ยม
● มอเตอร์ไร้เหล็ก ความผันผวนของความเร็วน้อยกว่าหนึ่งในพัน (รวมกับประเภทไดรฟ์ที่ระบุ ข้อมูลการทดสอบสภาพแวดล้อมของห้องทดลอง)
● รางนำทางที่เงียบและป้องกันการคืบเพื่อให้แน่ใจว่ามีการควบคุมขั้นบันไดขนาดเล็ก
● อายุการใช้งานยาวนาน ใช้งานได้นานโดยไม่ต้องบำรุงรักษา
