สเตจ XY ให้ความเร็วสูงและความละเอียด 10 นาโนเมตร

ข่าว

สเตจ XY ให้ความเร็วสูงและความละเอียด 10 นาโนเมตร

สเตจ XY แบบผสานรวมใหม่ — เป็นส่วนหนึ่งของสเตจการระบุตำแหน่งความเร็วสูงขนาดกะทัดรัด

ขั้นตอนการวางตำแหน่งทั้งหมดเหล่านี้ขับเคลื่อนด้วยมอเตอร์แบบอัลตราโซนิกเพียโซ-ลิเนียร์ ซึ่งเป็นมอเตอร์ที่ได้รับการจดสิทธิบัตรซึ่งให้การเคลื่อนไหวที่ราบรื่น ความละเอียดสูง และขั้นตอนที่รวดเร็ว และการตอบสนองที่ลงตัว

 

EMSLM-120X100-INXY-E50 Inverted Microscope Linear Motor Stage1

นอกจากนี้ มอเตอร์ยังมีไดรฟ์แบบหนีบตัวเองเพื่อล็อคแท่นให้เข้าที่โดยไม่ต้องใช้พลังงาน ซึ่งมีประโยชน์ในการใช้งานที่ตำแหน่งคงที่และใช้พลังงานต่ำ
การเดินทางไกลและโครงสร้างที่กะทัดรัดช่วยเสริมช่วงไดนามิกที่กว้าง
ระยะ ELMTMINI XY ให้ระยะเคลื่อนที่ 0.8 นิ้วต่อแกน โดยมีขนาด 42 x 42 มม. (1.6 x 1.6 นิ้ว)รายละเอียดต่ำเพียง 21 มม. และการออกแบบที่ย่อส่วนทำให้สามารถประกอบเข้ากับพื้นที่จำกัดได้ง่ายนอกจากความละเอียดสูง (ตัวเข้ารหัสเชิงเส้น 10 นาโนเมตร) แล้ว ยังให้การเคลื่อนไหวความเร็วสูงถึง 200 มม./วินาที และประสิทธิภาพการชำระขั้นตอนอย่างรวดเร็ว

ชุดควบคุมการเคลื่อนไหวระดับไฮเอนด์และชุดซอฟต์แวร์
เพื่อใช้ประโยชน์จากหลักการทำงาน ให้ประสิทธิภาพไดนามิกที่เหนือกว่าด้วยเวลาการตกตะกอนในช่วงมิลลิวินาที ในขณะที่รักษาความละเอียดสูงและการทำงานที่ราบรื่น มอเตอร์อัลตราโซนิกได้รับประโยชน์จากกลยุทธ์การควบคุมขั้นสูง เช่น การสลับอัตโนมัติระหว่างชุดพารามิเตอร์ PID แบบคงที่และไดนามิกหลายชุด และความถี่ที่ปรับได้ การติดตามPI นำเสนอตัวควบคุมการเคลื่อนไหวแบบอัลตราโซนิกจำนวนหนึ่ง (มีให้ใช้งานในการกำหนดค่าเดสก์ท็อป ชั้นวาง และแบบ OEM ชิป ASIC ที่มีอัลกอริทึมการควบคุมการเคลื่อนไหวยังมีให้สำหรับลูกค้า OEM แพคเกจซอฟต์แวร์ที่ครอบคลุมรวมอยู่ด้วย: ไดรเวอร์และโปรแกรมตัวอย่างสำหรับ LabVIEW, มีไลบรารีไดนามิกสำหรับ Windows และ Linux, MATLAB อินเทอร์เฟซประกอบด้วย TCP/IP, USB, RS-232 และอะนาล็อก
ข้อมูลจำเพาะของตระกูลอัลตราโซนิกเชิงเส้นขนาดเล็ก
L


เวลาโพสต์: เม.ย.-12-2566