ข้อมูลจำเพาะ | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20(รางลูกปืนแอร์) |
ประเภทมอเตอร์ | มอเตอร์ไร้เตารีดสามเฟส | วอยซ์คอยล์มอเตอร์+ |
ปณิธาน | ปริมาณดิจิตอลเริ่มต้น 100nm | 1vpp ลงไปที่ 5nm |
แรงขับของมอเตอร์ | ต่อเนื่อง 60N/สูงสุด 210N | ต่อเนื่อง 60N/สูงสุด 210N |
ขนาดขั้นตอนขั้นต่ำ [นาโนเมตร] | 200นาโนเมตร | 100นาโนเมตร |
การเดินทาง [มม.] | 200×200 | 10 |
ความสามารถในการทำซ้ำ [um] | ±0.3 | |
ความแม่นยำของตำแหน่ง [um] | ±1 | ±0.5 |
ความเรียบ [หนอ] | 10um | 5um |
ความตรง [หนอ] | 1um | 1um |
ความเร็วสูงสุด [มม./วินาที] | 500 มม. / วินาที | 30 มม. / วินาที |
ความจุโหลด [กก.] | 5 กก. (แกน Z พร้อมน้ำหนักสมดุลของแรงลมคงที่) |